Changsha Kona Fine Chemical Co., Ltd.
硅胶硅片研磨/抛光

硅胶硅片研磨/抛光

科纳硅片浆料已开发用于硅片粗糙和最终抛光工艺。在硅衬底的CMP过程中,Kona浆料获得超光滑的表面,并帮助您降低成本。

硅片抛光液特点:


  • Kona提供了一系列用于硅片研磨,粗抛光和最终抛光的研磨和抛光粉和浆料,用于硅片的化学机械平坦化工艺。

  • 我们提供用于硅片最终抛光工艺的胶体二氧化硅,可用于单面和双面抛光。

  • 我们开发了用于硅片化学机械抛光 (CMP) 的纳米碱性胶体二氧化硅,它具有良好的分散性和稳定性,提高了材料去除率 (MRR),并改善了表面粗糙度 (Ra/Rz)。

  • 我们有能力开发合适的抛光液,以满足客户在半导体制造中的需求。


硅片抛光液的细节


在硅片机械加工过程中,包括多线切割、研磨等加工过程,会在表面留下损伤层。此时,需要进行化学机械抛光,以使硅片具有良好的平整度和光洁度,并确保晶格完整性。因此,要求硅片抛光液能够在不破坏晶格的同时去除硅片的受损层,因此,Kona选择了不同颗粒的二氧化硅作为基本磨料,并开发了粗糙和最终的硅晶片抛光液。


Pro名称硅粗抛光液
基础磨料二氧化硅胶体
外观白色液体
Ph值10-13
溶剂类型水基
保质期12个月


Pro名称硅最终抛光液
基础磨料二氧化硅胶体
外观白色液体
Ph值8-9
溶剂类型水基
保质期12个月


浆料寿命长,镜面光洁度
生物:
+86-18390908473
电子邮件:
inquiry@polishingslurry.com
地址:
155 Suhong East Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, China
浆料寿命长,镜面光洁度 浆料寿命长,镜面光洁度